濺射中國“芯”
發(fā)布時間：
2018-09-05
來源：
在靶材制造的過程中，需要經(jīng)歷粉末冶煉、粉末混合、壓制成型、氣氛燒結(jié)、塑性加工、熱處理、超聲探傷、機(jī)械加工、水切割、機(jī)械加工、金屬化、綁定、超聲測試、超聲清洗、檢驗出貨，共計15道工序。
粉末冶煉：對原料粉末進(jìn)行前期的氣氛燒結(jié)，對原料粉末中氣體含量進(jìn)行控制。
粉末混合：靶材有著獨(dú)特的配方，需精確的控制各組分的含量，并嚴(yán)格限制雜質(zhì)含量，在粉末冶金的過程中，需要將各元素充分混合均勻，粒度分布均勻，防止污染
并要通過特殊工藝手段制備成混合型復(fù)粉。
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